Статус исследования и применения ультратонких алмазных отрезных дисков

Feb 26, 2023

Оставить сообщение

Ультратонкие алмазные отрезные дискипостепенно привлекли внимание людей благодаря своим преимуществам, таким как ультратонкая ширина режущей канавки, гладкий излом при резке, низкий процент брака и высокая эффективность резки.

 

В этой статье обобщается ход исследований и статус применения основных методов производства ультратонких алмазных отрезных дисков за последние 10 лет, а также представлены методы подготовки ультратонких алмазных отрезных дисков, включая методы гальванического покрытия и отверждения смолы. Метод гальванического покрытия характеризуется простотой оборудования, экологичностью. Преимущества защиты окружающей среды и производства, пригодного для вторичной переработки, стали наиболее вероятным методом подготовки для крупномасштабного промышленного применения. В статье, наконец, указано направление его развития.

 

1. Введение

Солнечная энергия является неиссякаемым источником чистой энергии, ее разработка и использование привлекают большое внимание людей, а коммерческое использование солнечной энергии стало мировой тенденцией. Солнечные батареи - это инструменты использования солнечной энергии, которые родились из этого. К солнечным элементам на основе кремния относятся: одиночные элементы, многослойные тонкопленочные элементы и т. д. Среди них одиночные солнечные элементы имеют самую высокую эффективность преобразования, а коэффициент фотоэлектрического преобразования может достигать 23 процентов, что занимает доминирующее положение в крупномасштабных приложениях. и промышленное производство на этом этапе. В последние годы, с непрерывным развитием и улучшением технологии производства полупроводников, стоимость производства кремниевых пластин постоянно снижалась, но стоимость резки кремниевых пластин, используемых в солнечных элементах, оставалась высокой, составляя более 30 процентов от общей суммы. стоимость производства солнечных батарей. Чтобы уменьшить вероятность сколов кромок во время обработки кремниевых пластин и улучшить использование материала, при резке кремниевых пластин обычно используются тонкие лезвия. Обычные лезвия, используемые в настоящее время, можно условно разделить на два типа: лезвия с гальваническим покрытием толщиной 15-100 мкм и лезвия из смолы толщиной 100-500 мкм. В моей стране текущая технология производства ультратонких отрезных дисков с гальваническим покрытием все еще несовершенна, в основном на стадии экспериментальных исследований, а ультратонкие отрезные диски, необходимые для производства, в основном зависят от импорта из США, Германии и Японии. . Таким образом, высокоточные алмазные режущие инструменты. Технология исследований и разработок инструментов и микроэлектронной промышленности моей страны является неотложной проблемой, которую необходимо решить.

2 Исследовательский статус ультратонких алмазных отрезных дисков

2.1 Метод отверждения смолы

Изготовление алмазных ультратонких отрезных дисков методом смолы является методом, позволяющим получить хорошее сохранение формы. Обычно в качестве связующего используется термореактивная фенольная смола. Его метод заключается в смешивании алмазных абразивных зерен со смолой, а затем в горячем прессовании для спекания и нагревания. Шлифовка выполняется после отверждения, процесс, который занимает несколько часов и, следовательно, является дорогостоящим в производстве. С развитием технологий термоотверждаемые смолы постепенно вытесняются светоотверждаемыми смолами, которые в основном состоят из базовых полимеров (фотосшиваемых полимеров), реактивных разбавителей (фотополимеризуемых мономеров), фотоинициаторов и добавок. состав. Наиболее существенное различие между ним и смолой термического отверждения заключается в том, что его процесс отверждения представляет собой процесс химической реакции, вызванный поглощением света соответствующей длины волны, а его превращение из жидкости в твердое является результатом увеличения молекулярной массы, а не вызвано улетучиванием растворителя, поэтому он имеет преимущества быстрого отверждения, отсутствия загрязнения и энергосбережения, но ограничивающим фактором является высокая цена его сырья.

Используя фотоотверждаемую смолу для изготовления ультратонких алмазных отрезных дисков, Peng Wei, Gu Taihong и др. использовали фотоотверждаемую смолу в качестве связующего для успешной разработки ультратонкого алмазного отрезного круга толщиной 0,15 мм и завершили испытание на резку одного куска. Форма шлифовального круга после резки: 53 мм × 4 0 мм × 0,15 мм. Испытания на резку проводили на образцах, приготовленных в эксперименте. Благодаря анализу экспериментальных данных окончательный результат показывает, что добавление соответствующего количества SiO2. Это может улучшить общую производительность режущего диска, а когда добавленное содержание частиц составляет 48, режущий эффект режущего диска является лучшим, а режущий излом более гладким. Согласно анализу, основной причиной этого явления является шлифовальный эффект частиц SiO2 на поверхности канавки за счет высокоплотного распределения частиц SiO2 на поверхности исходного холма и шлифовального круга.

В 2004, основываясь на технологии быстрого прототипирования, Яо Чунян, Пэн Вэй и др. изучили технологию быстрого изготовления ультратонких листов алмазного шлифовального круга с использованием светочувствительной смолы в качестве связующего и добавили японские усы REV ( 13 мкм × 70 мкм), для улучшения механических свойств алмазной режущей пластины. Твердость по Кнупу цельного куска составляет около K1000, а твердость по Кнупу алмаза достигает K7000E. Смешайте алмазный микропорошок и нитевидные кристаллы с подготовленной фоточувствительной смолой в количественном отношении, равномерно перемешайте и пропылесосьте для удаления пены, залейте в форму для тонкого отрезного круга при комнатной температуре, отвердите и придайте ей форму с помощью ультрафиолетового излучения. Размер сформированного ультратонкого листа алмазного отрезного круга: 52 мм × 40 мм × 0,15 мм. Испытания на резку отрезных дисков с различными составами доказывают, что добавление нитевидных кристаллов REV в отрезные диски из светочувствительной смолы может улучшить шлифовальные характеристики отрезного диска и улучшить качество разрезаемого материала после резки.

Добавление только SiO2 или нитевидных кристаллов в режущий лист ограничивает улучшение характеристик режущего листа и не может удовлетворить фактические потребности. В 2004 Ли Чэнфу и другие использовали в качестве связующего эпоксидную смолу LC-2800 производства Showa Polymer Company. Смола отверждается облучением ультрафиолетовым светом для производства ультратонких листов, а ее твердость, прочность и износостойкость улучшаются за счет добавления частиц и волокон SiO2 в качестве наполнителей. Метод изготовления листа для нарезки кубиков представляет собой метод высокоскоростного центрифугирования, то есть сначала капают жидкую смолу в центр подложки, а затем позволяют подложке вращаться с высокой скоростью, чтобы жидкая смола диффундировала по поверхности. подложка образует тонкую пленку и облучает ультрафиолетовым светом на верхних 10 мм. Чтобы отвержденная смола затвердела, чтобы получить ультратонкое режущее лезвие, размер пробного лезвия составляет 54 мм × 40 мм × 0,05 мм. Сравнительные эксперименты по резке различных образцов доказывают, что метод центрифугирования можно использовать для изготовления ультратонких алмазных режущих листов, а добавление гранулированных наполнителей может повысить твердость, а волокнистые наполнители могут повысить прочность. Углеродное волокно имеет лучшие характеристики.

 

2.2 Метод гальваники

Метод гальванического покрытия представляет собой процесс осаждения тонкого слоя других металлов или сплавов на металлическую подложку с использованием принципа электролиза. Это процесс использования электролиза для прикрепления слоя металлической пленки к поверхности металлических или других частей материала. Частицы попадают в композитное покрытие в процессе электролиза. Гульельми считает, что частицы, попадающие в композитное покрытие, в основном основаны на двухступенчатом механизме адсорбции: на первом этапе частицы, несущие ионы, и молекулярные пленки растворителя адсорбируются на поверхности электрода, что называется слабой адсорбцией. Он находится в равновесии с взвешенными в ванне частицами. Частицы в слабо адсорбированном состоянии удаляют свои адсорбированные ионы и сольватированную пленку и непосредственно контактируют с поверхностью катода, образуя необратимую электрохимическую адсорбцию, которая становится сильной стадией адсорбции. Далее следует внедрение сильно адсорбированных частиц в покрытие в процессе электроосаждения металла.

В 2000 году Лю Динфу из Южно-Китайского технологического университета представил метод использования композитного покрытия, который представляет собой процесс изготовления алмазных дисковых пил с покрытием из никель-кобальтового сплава в качестве клея. Лезвие) Используйте тонкое пильное полотно через каждые 6-7 мм, чтобы выпилить зазор длиной 9 мм в направлении диаметра, чтобы последующие алмазные частицы и покрытие в качестве связующего вещества имели аналогичный механический мозаичный эффект, чтобы в дальнейшем усилить стык композитного покрытия и подложки Force, продлить срок службы пильного диска. В методе шлифования используется метод шлифования, то есть используйте пипетку для поглощения гидрофилизированных алмазных частиц и равномерного распределения их по восходящей поверхности осаждения, а затем слегка вибрируйте пильное полотно, чтобы алмазные частицы могли находиться в стабильном контакте с подложкой. . После предварительного покрытия, шлифовки, утолщения и блестящего покрытия наконец получается хорошее покрытие. Окончательно доказано, что никель-кобальтовый сплав можно использовать в качестве связующего для получения хорошего покрытия при изготовлении алмазного инструмента.

В 2002 году Guo Tiefeng и Yang Yanjun предложили впервые использовать фосфаты для получения химических конверсионных покрытий. Формула (г/л): щавелевая кислота 5, фосфорная кислота 15, оксалат натрия 4, динатрийфосфат 10, хлорат натрия 5; условия эксплуатации Для: температура 20 градусов, время 5мин. Подготовленное химическое конверсионное покрытие лучше всего подходит для аустенитной нержавеющей стали, которая имеет хорошую электропроводность, может обеспечить плавный процесс электроосаждения и предотвратить сильное соединение материала электроосаждения с подложкой, чтобы облегчить отслоение покрытия.

Для стадии электрохимического осаждения используется гальванический раствор Ni-Co. Формула гальванического раствора (г/л): сульфат никеля 220-240, сульфат кобальта 15-30, борная кислота 25-35, хлорид натрия 10-20 и соответствующее количество патента добавки , Алмазный порошок 5-10. Рабочие условия эксперимента: температура гальванопокрытия 45 ~ 50 градусов, значение pH 4,1 ~ 4,5, Dk=2 A/дм³, перемешивание воздушным насосом, прерывистое время 10 мин. Композитное покрытие снимается с подложки путем нагревания и штампуется на машине для холодной штамповки. Для готового продукта, изготовленного в ходе эксперимента, эксперимент по сравнению листов для резки показывает, что продукт может соответствовать требованиям к резке, а стоимость снижается на 1/3.

Чжоу Линьхуа, Сюй Цзяньхун и др. из Восьмого научно-исследовательского института ядерной промышленности Шанхая в патенте, поданном в 2003, подробно описали способ изготовления ультратонких алмазных отрезных дисков. . В качестве анода используется никелевая пластина, а в качестве катода – нержавеющая сталь. Раствор для гальванического покрытия получают добавлением алмазных абразивов, борной кислоты и добавок к смешанному раствору гидратированной соли металлического никеля или гидратированной соли металлического никеля и других гидратированных солей металлов. Формула (г/л): никель серная кислота 150-300, сульфат кобальта 3-20, борная кислота 25-40, хлорид никеля 30-60, первичный отбеливатель 0. 2-2, вторичный отбеливатель 0.2-2, смазка 0.05-1. Параметры процесса гальваники: Dk=2A/дм³, значение pH 4,1~4,5, температура 45~50 градусов, плотность алмаза 5~20 г/л, время может контролировать толщину композитного гальванического слоя. Поместите катод и анод в гальванический раствор, и после включения питания под действием электронов алмазный абразив и ионы металла равномерно эвтектоидно наносятся на подложку катода для получения композитного гальванического слоя. Аккуратно согните подложку катода, гальванически покрытую композитным слоем, в форму дуги, слой композитного гальванического покрытия легко отделяется от подложки катода, и, наконец, получается разделенное алмазное и никель-кобальтовое композитное покрытие. После трех часов гальваники можно получить композитное покрытие толщиной 20 мкм.

Основываясь на различных подложках и различных методах удаления композитных покрытий, в 2009 году Лю Цзиньлун из Даляньского технологического университета подробно представил метод использования алюминиевого сплава в качестве подложки для алмазно-никелевых композитных покрытий в статье «Экспериментальные исследования по улучшению производительности». композитных электроосажденных алмазных пил». Подготовка, подложка из алюминиевого сплава помещается в гальванический резервуар в качестве катода после предварительной обработки для совместного осаждения алмазного металла, после получения желаемой толщины покрытия вынимается и подвергается электролизу в самодельном электролитическом резервуаре. , а подложку разъедают подходящим капельным электролитом для получения алмазного композитного покрытия. Полученное композиционное покрытие было исследовано на царапины и лезвийный износ на кремниевой пластине и стекле. После резки лезвие оставалось острым без коробления и других деформаций, а характеристики соответствовали требованиям. Хэ Чаньяо представил метод изготовления ультратонких алмазных отрезных дисков с пластиковым покрытием в качестве подложки в патенте, на который подана заявка в 2009 году.

В качестве подложки катода он выбирает пластик с покрытием, предварительно осаждает на поверхность слой алмаза и помещает в электролит, смешанный с 18-25 солью никеля, 1-2 солью натрия, 1-3 кобальтом и 2-4 раствор кислоты. Среди них в качестве анодной подложки используется никелевая пластина высокой чистоты, температура составляет 3 0 градуса ~ 40 градусов, а значение pH составляет 4.2-4.6. Алмаз наносят на алмазную поверхность катодной подложки электроосаждением для закрепления алмаза, таким образом получая толщину 0,5. 02 ~ 1 мм гальванический слой. Затем катодную подложку с гальваническим слоем помещают в приготовленный раствор хлороформа с добавлением 2-го этанола, растворяют покровную пластмассу и получают алмазно-никелевое композитное покрытие, которое вырезают до нужного размера с помощью постобработки.

 

3 Внешний вид

С развитием науки и техники и повышением уровня жизни людей спрос на ломтики растет день ото дня, и улучшение качества ломтиков имеет большее значение для ультратонких ломтиков. Однако в Китае нет зрелых методов промышленного производства, и используется большое количество импортной продукции. Цена высока, поэтому его применение было существенно ограничено. Среди различных методов производства метод гальванического покрытия стал наиболее вероятным методом подготовки к крупномасштабному промышленному применению благодаря своим преимуществам, таким как простое оборудование, экологичная защита окружающей среды и перерабатываемое производство. Если могут быть приняты определенные меры для дальнейшего сокращения времени, используемого в производственном процессе, и улучшения характеристик гальванического раствора, то подготовка и применение ультратонких режущих листов будут иметь значительное развитие и качественный скачок.

Отправить запрос